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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2019    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜