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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Theoretical study of multiexposure zeroth-order waveguide mode interference lithography 期刊论文 OPTICAL AND QUANTUM ELECTRONICS, 2018, 卷号: 50, 期号: 9 作者:  Pang, Zhiyuan;  Tong, Huan;  Wu, Xiaoxiong;  Zhu, Jiankai;  Wang, Xiangxian 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2019/11/15 Nanolithography  Subwavelength structure  Waveguide mode  Sample rotation   High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures 期刊论文 Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233 作者:  Guo, C. L.;  Zhang, Z. Y.;  Xue, D. L.;  Li, L. X.;  Wang, R. Q. 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/09/17 Fresnel zone plate  Diffractive optical elements  Etching depth  uniformity  Ion beam etching  Dwell time algorithm  dwell-time algorithm  dielectric gratings  fabrication errors  x-ray  ion  Optics