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科研机构
光电技术研究所 [5]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [2]
发表日期
2018 [5]
学科主题
光学检测 [1]
工程与技术科学基础学... [1]
物理学::光学::光... [1]
电子、通信与自动控制... [1]
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共5条,第1-5条
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发表日期:2018
专题:光电技术研究所
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多自由度相位调制器测试技术研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
方国明
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浏览/下载:90/0
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提交时间:2018/06/10
激光外差干涉
平面法线向量
位移测量
角度测量
仿真分析
稀疏子孔径拼接光学系统像质检测研究
学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
罗倩
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2018/05/23
干涉测量
光学系统检测
稀疏子孔径
拼接检测
三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
邓钦元
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/05/24
三维微纳结构
无掩模光刻
非线性
白光干涉
空间调制度
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量
期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
作者:
邓钦元
;
唐燕
;
周毅
;
杨勇
;
胡松
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2019/08/23
测量
空间频域
白光干涉
2π模糊
相干信息
相位突变
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
期刊论文
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 32-38
作者:
罗倩
;
吴时彬
;
汪利华
;
杨伟
;
范斌
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2019/08/23
稀疏子孔径
教学建模
拼接检测
波面重构
干涉测量
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