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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2018    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于TiO2/SnO2复合薄膜的晶圆级低功耗集成式微型气体传感器 学位论文 2018 作者:  王梦雅 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/11/26 气体传感器  集成工艺  MEMS工艺  低功耗  复合薄膜