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| 半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201510011821.X, 申请日期: 2017-09-05, 公开日期: 2016-08-03
作者: 李俊峰 ; 王垚; 杨涛; 丁明正; 贺晓彬
  收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2018/04/10 |
| 面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 期刊论文
仪表技术与传感器, 2017
作者: 明安杰; 谭秋林; 刘卫兵; 熊继军; 王玮冰
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2018/05/14 |
| 基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2017
作者: 张乐民
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/08/23 |
| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者: 张轲; 苗斌; 丁祥桢; 顾智琦; 潘天龙
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 柱式平板声子晶体点缺陷模式研究 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 198-201
作者: 黄翔宇; 刘永顺; 舒风风; 武俊峰; 吴一辉
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者: 王玮冰; 陈大鹏; 孙西龙; 刘卫兵; 明安杰
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2018/02/05 |
| 悬浮结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621032847.9, 申请日期: 2017-03-15,
作者: 王玮冰; 陈大鹏; 任耀辉; 刘卫兵; 明安杰
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/02/05 |
| 一种微测辐射热计 专利
专利号: 2016207606074, 申请日期: 2017-02-08,
作者: 魏兴战; 杨俊; 汤林龙; 申钧; 周大华
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2018/03/19 |
| 一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器 期刊论文
微电子学, 2017
作者: 欧文; 李志刚; 翟琼华; 欧毅; 袁烽
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2018/05/11 |
| 一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器 专利
专利号: 2016207638696, 申请日期: 2017-01-18,
作者: 魏兴战; 杨俊; 冯双龙; 申钧; 周大华
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2018/03/19 |
