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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2017     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种掩膜图形的优化方法、最佳焦平面位置测量方法及系统 专利 专利号: CN201610342206.1, 申请日期: 2017-06-30, 公开日期: 2016-07-20 作者:  韦亚一;  董立松;  宋之洋 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/04/10 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2018/04/09 集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学   大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 383-390 作者:  高松涛;  武东城;  苗二龙 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/04/09 计算全息图  Cgh  畸变  非球面检测   干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者:  全海洋 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2017/06/02 光学检测  干涉计量  绝对检测  三平板绝对检测  不确定度评估