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科研机构
光电技术研究所 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2017 [3]
学科主题
工程与技术科学基础学... [1]
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发表日期:2017
专题:光电技术研究所
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菲涅尔透镜拼接失调误差分析与仿真
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:
苏金炎
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2017/06/14
拼接菲涅尔透镜,失调误差,点扩散函数,斯特列尔比,干涉检测
干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:
全海洋
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2017/06/02
光学检测
干涉计量
绝对检测
三平板绝对检测
不确定度评估
白光干涉检测仪垂直扫描系统设计
期刊论文
半导体技术, 2017, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 229-234
作者:
姚靖威
;
唐燕
;
周毅
;
邓茜
;
赵立新
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2018/12/20
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