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菲涅尔透镜拼接失调误差分析与仿真 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:  苏金炎
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2017/06/14
干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:  全海洋
收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2017/06/02
白光干涉检测仪垂直扫描系统设计 期刊论文
半导体技术, 2017, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 229-234
作者:  姚靖威;  唐燕;  周毅;  邓茜;  赵立新
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/12/20


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