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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 直流增强ICP源及双频柱状ICP源的放电特性研究 会议论文 第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01 作者:  滑跃;  郝泽宇;  任春生 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 柱状ICP  混合放电  双频放电  等离子密度  电子温度  空间分布