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北京航空航天大学 [1]
深圳先进技术研究院 [1]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [2]
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发表日期:2015
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Formation of Through Silicon Vias for Silicon Interposer in Wafer Level by Metal-Assisted Chemical Etching
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2015
作者:
Li, Liyi
;
Zhang, Guoping
;
Wong, Ching-Ping
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提交时间:2016/01/27
Design, Fabrication and Stress Evaluation of Si Electrical Interconnection Air-gapped from Si Interposer
会议论文
2015 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC PACKAGING TECHNOLOGY, 2015-01-01
作者:
Ma, Shenglin
;
Xia, Yanming
;
Luo, Rongfeng
;
Ren, Kuili
;
Chen, Jing
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2020/01/06
Low stress
Air-gapped Si
TSV Interposer
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