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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用 期刊论文 微纳电子技术, 2015 作者:  谢常青;  朱效立;  施百龄 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/05/24 自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  江海波 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2015/07/30 光学光刻  计算光刻  光刻仿真  分辨力增强技术  照明模式  光源掩模优化（SMO）   一种增大工艺窗口的光源优化方法 期刊论文 激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157 作者:  江海波 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/11/01 成像系统  光学光刻  离轴照明  光源优化   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  何骏 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射  掩模优化   基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 422002 作者:  王磊;  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28