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长春光学精密机械与物... [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [3]
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发表日期:2015
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
姜珊
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浏览/下载:101/0
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提交时间:2015/11/30
全息光栅
扫描干涉场曝光系统
曝光对比度
干涉条纹
曝光刻线相位
光栅周期
光纤相移点衍射干涉仪关键技术
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/07/06
高精度检测
光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
激光光源
光纤
菲索干涉仪移相器关键技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:
毛石磊
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浏览/下载:121/0
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提交时间:2016/04/11
菲索干涉仪
移相器
微位移
柔性铰链
压电陶瓷
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