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长春光学精密机械与物... [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2015 [3]
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共3条,第1-3条
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发表日期:2015
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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快速控制反射镜两轴柔性支撑平台刚度优化设计
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3378-3386
作者:
付锦江
;
颜昌翔
;
刘伟
;
袁婷
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/07/06
快速控制反射镜
椭圆弧柔性铰链
柔性支撑平台
刚度优化
固有频率
压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2987-2994
作者:
方楚
;
郭劲
;
徐新行
;
王挺峰
收藏
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浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2016/07/06
快速反射镜
四周式柔性支撑
支撑杆
支撑片
压电陶瓷
深紫外光刻投影物镜热像差仿真研究
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
骆聪
收藏
  |  
浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2015/11/30
投影物镜
热像差
有限元分析
红外像差补偿
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