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长春光学精密机械与物... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [2]
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发表日期:2014
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可诱导人眼自动调焦的眼底相机光学系统设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 4, 页码: 221-227
李春才
;
巩岩
;
李晶
;
廖家胜
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提交时间:2015/04/17
光学设计
自适应光学
眼底相机
自动调焦
轴锥镜
环形光
高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
宋强
收藏
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浏览/下载:238/0
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提交时间:2016/11/28
光学光刻
光瞳整形
光刻仿真
衍射光学元件
轴锥镜
光学检测
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