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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
期刊论文 [1]
项目 [1]
发表日期
2014 [2]
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双频激励低气压柱状电感耦合放电等离子体的机理研究
项目
2014-
作者:
任春生
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提交时间:2019/12/11
低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响
期刊论文
科学技术与工程, 2014, 卷号: 14, 页码: 41-44,58
作者:
蒋相站
;
张季
;
李文亮
;
姚洪斌
;
刘永新
收藏
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2019/12/09
双频容性耦合等离子体
四极杆质谱
离子能量分布
平均能量
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