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科研机构
厦门大学 [7]
内容类型
期刊论文 [5]
其他 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2013 [7]
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共7条,第1-7条
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发表日期:2013
专题:厦门大学
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95
100
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Technology and application of ultra-precision machining for large size optic
期刊论文
http://dx.doi.org/10.3901/JME.2013.19.171, 2013
Guo, Yinbiao
;
Yang, Wei
;
Wang, Zhenzhong
;
Peng, Yunfeng
;
Bi, Guo
;
Yang, Ping
;
郭隐彪
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2015/07/22
Grinding (machining)
Grinding machines
Polishing
大口径光学元件超精密加工技术与应用
期刊论文
2013
郭隐彪
;
杨炜
;
王振忠
;
彭云峰
;
毕果
;
杨平
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/05/17
超精密加工
磨削加工装备
磨削加工工艺
精密检测
气囊抛光
环境监控
中频误差评价
Ultra-precision machining Grinding equipment Grinding process Precise measuring Bonnet polishing Environment monitoring Mid-spatial frequency error assessing
微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备
期刊论文
2013
陶也
;
曾毅波
;
刘畅
;
林杰
;
郭航
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2016/05/17
微机电系统
电容式压力传感器
硅薄膜
超声腐蚀
化学机械抛光
MEMS
capacitive pressure sensor
silicon membrane
utrlasonic corrosion
chemical mechanical polishing(CMP)
运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜
期刊论文
2013
曾毅波
;
刘畅
;
陈观生
;
赵祖光
;
郭航
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/05/17
微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)
石英薄膜
研磨
CMP
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)
quartz film
lapping
CMP
Electrochemical mechanical micromachining based on confined etchant layer technique
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1039/c3fd00008g, 2013
Yuan, Ye
;
Han, Lianhuan
;
Zhang, Jie
;
Jia, Jingchun
;
Zhao, Xuesen
;
Cao, Yongzhi
;
Hu, Zhenjiang
;
Yan, Yongda
;
Dong, Shen
;
Tian, Zhong-Qun
;
Tian, Zhao-Wu
;
Zhan, Dongping
;
张洁
;
田中群
;
田昭武
;
詹东平
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/07/22
N-GAAS
LIGA
MICROFABRICATION
MICROSCOPY
NICKEL
MEMS
Discussion on the lapping and polishing process of 4H-SiC wafer
其他
2013-01-01
Cheng, Wei
;
Yin, Yugang
;
Li, Yipan
;
Zhang, Haoer
;
Zhang, Shiming
;
Wang, Lingyun
;
Sun, Daoheng
;
孙道恒
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/07/22
Lapping
Silicon carbide
Surface roughness
GOI衬底制备和Al/n+-Ge欧姆接触研究
学位论文
2013, 2013
林旺
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/01/13
Al/n+-Ge接触
绝缘体上的锗
抛光
Al/n+-Ge contacts
germanium-on-insulator (GOI)
polishing
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