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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2013    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 其他 2013-01-01 Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 CMOS-MEMS  Monolithic integration  Stress  Hydrogen  Resonator sensor  POLY-SIGE  CMOS  DEVICES  EMBRITTLEMENT  TEMPERATURE  FABRICATION  FRACTURE  HYDRIDE  WAFERS