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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 TPMS (tire-pressure monitoring system) sensors: Monolithic integration of surface-micromachined piezoresistive pressure sensor and self-testable accelerometer 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 167-173 Wei, CZ; Zhou, W; Wang, Q; Xia, XY; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/04/23 Automotive sensor  Pressure sensor  Accelerometer  Piezoresistance  Surface-micromachining  Self-testing   Isotropic Silicon Etching With XeF2 Gas for Wafer-Level Micromachining Applications 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1436-1444 Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Wang, YC; Sun, X; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23 Design rule  isotropic etching  microelectromechanical systems (MEMS)  micromachining  wafer level  XeF2 gas   Monolithic Integration of Pressure Plus Acceleration Composite TPMS Sensors With a Single-Sided Micromachining Technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 2, 页码: 284-293 Wang, JC; Xia, XY; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/04/23 Accelerometer  front-side monolithic micromachining  piezoresistance  pressure sensor  sensor   Uncooled Thermoelectric Infrared Sensor With Advanced Micromachining 期刊论文 IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: - Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Ma, YL; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/04/23 Advanced micromachining  microelectromechanical systems (MEMS)  thermoelectric  uncooled infrared sensor  wet silicon etching  XeF2 silicon etching