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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 王亮 收藏  |  浏览/下载：228/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  化学机械研磨  Run-to-Run控制  预测控制  过程控制   地下水数值模拟中的无网格局部Petrov-Galerkin法的研究 学位论文 : 辽宁师范大学, 2012 作者:  张鹏花 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/01 加权残量法  移动最小二乘  MLPG法  地下水数值模拟