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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Development of vertical 32" LPCVD system for fast epitaxial growth on 4H-SiC 期刊论文 materials science forum, 2012, 卷号: 717-720, 页码: 105-108 Zhao, Wanshun; Sun, Guosheng; Wu, Hailei; Yan, Guoguo; Zheng, Liu; Dong, Lin; Wang, Lei; Liu, Xingfang; Yang, Lijun 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/04/22