QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 ZnO纳米材料在MEMS器件中的应用研究 学位论文 2011, 2011 潘峰 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/02/14 MEMS  ZnO薄膜  谐振器  微悬臂梁  MEMS  ZnO piezoelectric thin film  resonator  micro-cantilever   压电微悬臂梁探针的制作工艺研究 期刊论文 西安交通大学学报, 2011, 卷号: 45, 页码: 79-82 作者:  崔岩;  张吕权;  夏劲松;  王立鼎 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 压电探针  局部压电层  纳米硅尖  弹性常数   基于1×2阵列压电悬臂梁的AFM并行扫描 期刊论文 微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 页码: 264-268,273 作者:  林旭东;  董维杰 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 悬臂梁阵列 并行扫描 原子力显微镜(AFM) 微弱信号检测 压电   收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2011, 卷号: 09, 页码: 1-5 作者:  褚金奎;  李涛;  韩冰峰;  熊叶胜 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 微电源  压电悬臂梁  MEMS  PZT