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科研机构
厦门大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
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发表日期:2011
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A novel remote plasma sputtering technique for depositing high-performance optical thin films
期刊论文
2011
Bu, Y. K.
;
Liu, Z.
;
Dutson, J. D.
;
Thwaites, M. J.
;
Chen, N.
;
Cai, Z. P.
;
Chu, J
;
Wang, Z
;
蔡志平
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提交时间:2013/12/12
Plasma source
sputtering deposition
reactive sputtering
optical thin films
laser mirror
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