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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    学科主题：材料科学与物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of substrate bias voltage on the microstructure and residual stress of CrN films deposited by medium frequency magnetron sputtering 期刊论文 Materials Science and Engineering B, 2011, 卷号: 176, 页码: 850-854 作者:  Ji L(吉利);  Li HX(李红轩);  Li HX(李红轩);  Zhou HD(周惠娣);  Chen JM(陈建敏) 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/09/24 CrN films  Medium frequency magnetron sputterin  Substrate bias voltage  Microstructure  Residual stress