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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高剂量注氮对注氧隔离硅材料埋氧层中正电荷密度的影响 期刊论文 物理学报, 2011, 卷号: 60, 期号: 5, 页码: 056104-1-056104-6 作者:  于芳 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/07/17