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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2011    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Multi-wafer3C-SiC thin films grown on Si(100) in a vertical HWLPCVD reactor 期刊论文 journal of semiconductors, 2011, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 63001 Yan, Guoguo; Sun, Guosheng; Wu, Hailei; Wang, Lei; Zhao, Wanshun; Liu, Xingfang; Zeng, Yiping; Wen, Jialiang 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/06/14 Chemical vapor deposition  Deposition  Electric resistance  Epitaxial growth  Film growth  Sheet resistance  Silicon carbide  Silicon wafers   Effect of AlN buffer thickness on GaN epilayer grown on Si(1 1 1) 期刊论文 materials science in semiconductor processing, 2011, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 97-100 Wei, M; Wang, XL; Pan, X; Xiao, HL; Wang, CM; Hou, QF; Wang, ZG 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 GaN  MOCVD  Si(111)  AlN  VAPOR-PHASE EPITAXY  LAYERS  SUBSTRATE  MOCVD  STRESS