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清华大学 [1]
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会议论文 [1]
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2010 [1]
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Efficient mask design for inverse lithography technology based on 2D discrete cosine transformation (DCT)
会议论文
SISPAD 2007: SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES 2007, 12th International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, Vienna, AUSTRIA, Web of Science
Zhang, Jinyu
;
Xiong, Wei
;
Tsai, Min-Chun
;
Wang, Yan
;
Yu, Zhiping
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