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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：山东大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Mold deformation in soft UV-nanoimprint lithography 期刊论文 SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2009, 卷号: 52, 期号: 2, 页码: 294-302 作者:  Lan HongBo;  Ding YuCheng;  Liu HongZhong;  Que YeRong;  Tao WeiWei 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/26 UV-nanoimprint lithography (UV-NIL)  soft mold  deformation  numerical  simulation  finite element model