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SiN薄膜三阶非线性增强的研究 期刊论文
半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 418-422
宋江婷; 郭亨群; 王加贤; 吴志军; 王国立; 沈海波; 徐骏; 陈坤基; 王启明
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