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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [2]
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发表日期:2008
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Effects of environmental temperature on the performance of a micromachined gyroscope
期刊论文
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2008, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 199-204
Liu, GJ
;
Wang, AL
;
Jiang, T
;
Jiao, JW
;
Jang, JB
收藏
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提交时间:2011/12/17
MEMS
DESIGN
FABRICATION
DEVICES
A heater-integrated scanning probe microscopy probe array with different tip radii for study of micro-nanosize effects on silicon-tip/polymer-film friction
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 3, 页码: 33701-33701
Bao, HF
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2011/12/17
ATOMIC-FORCE MICROSCOPE
GLASS-TRANSITION TEMPERATURE
POLYMER-FILMS
POLY(METHYL METHACRYLATE)
CANTILEVERS
THICKNESS
DYNAMICS
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