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一种微小部件机械联接或紧固方法 成果
2008
中国科学院金属研究所
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自呼吸式微型质子交换膜燃料电池的阴极流场板及制作方法 成果
鉴定: 无, 2008
夏保佳; 郑丹; 张熙贵
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MEMS高G量程加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2008
未知
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微系统若干前沿技术研究 成果
鉴定: 无, 2008
封松林
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一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法 成果
鉴定: 无, 2008
刘玉菲; 吴亚明; 李四华
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用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 成果
鉴定: 无, 2008
未知
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