QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2006    内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 许晓昕 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/03/06 声传感器  光纤传感  MEMS  Pyrex 7740深刻蚀  F-P腔  衍射光栅   基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 王彬   收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/06 磁珠  MEMS  微流体  模拟分析  平面线圈  塑性材料微加工