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倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200520045038.7, 申请日期: 2006-10-04, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
程兆谷; 高海军; 覃兆宇; 张志平; 黄惠杰; 钱红斌
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具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200520043341.3, 申请日期: 2006-08-30, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
张志平; 程兆谷; 高海军; 覃兆宇
收藏  |  浏览/下载:24/8  |  提交时间:2011/07/14


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