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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2005    内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种压阻式微机械陀螺的研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 陈雪萌   收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  微机械陀螺  压阻  温度补偿  DRIE     悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 郭南翔   收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  探卡  悬臂梁  自隔离