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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2004    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nanofabrication based on MEMS 期刊论文 PROCEEDINGS OF THE IEEE SENSORS 2004, VOLS 1-3, 2004, 页码: 1044-1047 Wang, YL; Li, XX; Li, T; Yang, H; Jiao, JW 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/11/08 FABRICATION  TECHNOLOGY  RESONATORS  FILMS  SI   Nanofabrication from MEMS technology 期刊论文 2004: 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, VOLS 1- 3, PROCEEDINGS, 2004, 页码: 1839-1841 Wang, YL; Li, XX; Li, T; Yang, H; Jiao, JW 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/11/08 FABRICATION  RESONATORS  FILMS  SI