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Influence of phosphine flow rate on si growth rate in gas source molecular beam epitaxy 期刊论文
Journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
作者:  Gao, F;  Huang, DD;  Li, JP;  Lin, YX;  Kong, MY
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Influence of phosphine flow rate on Si growth rate in gas source molecular beam epitaxy 期刊论文
journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
Gao F; Huang DD; Li JP; Lin YX; Kong MY; Sun DZ; Li JM; Lin LY
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