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科研机构
半导体研究所 [2]
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期刊论文 [2]
发表日期
2000 [2]
学科主题
半导体材料 [1]
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发表日期:2000
专题:半导体研究所
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Influence of phosphine flow rate on si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
Journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
作者:
Gao, F
;
Huang, DD
;
Li, JP
;
Lin, YX
;
Kong, MY
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/05/12
Si growth rate
P doping
Ph3 flow rate
P segregation
Gsmbe
Influence of phosphine flow rate on Si growth rate in gas source molecular beam epitaxy
期刊论文
journal of crystal growth, 2000, 卷号: 220, 期号: 4, 页码: 461-465
Gao F
;
Huang DD
;
Li JP
;
Lin YX
;
Kong MY
;
Sun DZ
;
Li JM
;
Lin LY
收藏
  |  
浏览/下载:38/0
  |  
提交时间:2010/08/12
Si growth rate
P doping
PH3 flow rate
P segregation
GSMBE
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
SI1-XGEX
PHOSPHORUS
SI2H6
DISILANE
SI(100)
MBE
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