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物理研究所 [2]
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期刊论文 [2]
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1993 [2]
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发表日期:1993
专题:物理研究所
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DAMAGE FORMATION IN SI(100) INDUCED BY MEV SELF-ION IMPLANTATION
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 82, 期号: 4, 页码: 575
ZHAO, QT
;
WANG, ZL
;
XU, TB
;
ZHU, PR
;
ZHOU, JS
;
LIU, XD
;
LIU, JT
;
WANG, KM
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提交时间:2013/09/17
DEPTH-PROFILES
SILICON
SI
AMORPHIZATION
ACCUMULATION
IRRADIATION
REDUCTION
EFFECTS OF ION-BEAM DEFECT ENGINEERING ON CARRIER CONCENTRATION PROFILES IN 50-KEV P+-IMPLANTED SI(100)
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1993, 卷号: 62, 期号: 24, 页码: 3183
ZHAO, QT
;
WANG, ZL
;
XU, TB
;
ZHU, PR
;
ZHOU, JS
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2013/09/17
ANOMALOUS DIFFUSION
BORON-DIFFUSION
SILICON
REDUCTION
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