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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1991    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一台新型的宽束离子束混合装置 期刊论文 微细加工技术, 1991, 期号: 03 孙义林; 张玉春; 曹德福; 张福民; 陈酉善 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/03/29