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Liquid phase epitaxial growth equipment 专利
专利号: JP1986184820A, 申请日期: 1986-08-18, 公开日期: 1986-08-18
作者:  MURAKAMI TOMOKI
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Temperature controller 专利
专利号: JP1986013451A, 申请日期: 1986-01-21, 公开日期: 1986-01-21
作者:  TOMITA SATORU
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