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半导体研究所 548 上海微系统与信息技术研究所 96 物理研究所 82
西安光学精密机械研究所 63 厦门大学 18 清华大学 10
高能物理研究所 8 金属研究所 7 新疆理化技术研究所 5
苏州纳米技术与纳米仿生研究所 4 山东大学 4 长春应用化学研究所 4
北京大学 3 力学研究所 2 长春光学精密机械与物理研究所 2
中国科学院大学 2 上海技术物理研究所 2 北京航空航天大学 1
兰州大学 1 数学与系统科学研究院 1 过程工程研究所 1
四川大学 1 上海大学 1 河南大学 1
湖南大学 1 上海光学精密机械研究所 1

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