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半导体研究所 8 上海硅酸盐研究所 4 北京大学 2
化学研究所 2 上海微系统与信息技术研究所 2 山东大学 2
上海大学 2 沈阳自动化研究所 2 江苏大学 1
上海应用物理研究所 1 华南理工大学 1 湖南大学 1

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