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半导体研究所 21 上海技术物理研究所 17 重庆绿色智能技术研究院 4
武汉大学 3 清华大学 2 厦门大学 2
新疆理化技术研究所 2 西安交通大学 1 国家空间科学中心 1
苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1 长春光学精密机械与物理研究所 1 上海微系统与信息技术研究所 1
上海应用物理研究所 1 上海大学 1 西安光学精密机械研究所 1

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