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西安光学精密机械研究所 88 微电子研究所 83 半导体研究所 15
上海微系统与信息技术研究所 12 大连理工大学 8 金属研究所 8
厦门大学 7 长春应用化学研究所 7 长春光学精密机械与物理研究所 6
河北大学 6 北京大学 3 兰州理工大学 3
南开大学 3 电子学研究所 2 上海应用物理研究所 2
华南理工大学 2 上海大学 2 西安理工大学 2
合肥物质科学研究院 2 兰州化学物理研究所 2 清华大学 1
北京工业大学 1 兰州大学 1 深圳先进技术研究院 1
苏州纳米技术与纳米仿生研究所 1 宁波材料技术与工程研究所 1 大连化学物理研究所 1
武汉大学 1 复旦大学上海医学院 1 湖南大学 1
上海技术物理研究所 1 工程热物理研究所 1

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