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长春光学精密机械与物理研究所 16 上海微系统与信息技术研究所 15 上海光学精密机械研究所 13
半导体研究所 9 清华大学 8 电子学研究所 4
金属研究所 3 西安光学精密机械研究所 3 声学研究所 2
厦门大学 1 北京大学 1 国家空间科学中心 1
上海大学 1

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