| 题名 | 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究 |
| 作者 | 李定 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2015-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 熊胜明 |
| 关键词 | 薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收 光学常数 |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 中红外2-6μm波段是红外探测器和化学激光器的主要工作波段之一，应用在这一波段的光学薄膜材料主要是氟化物、硫化物和硒化物等软膜材料。氧化物具有优越的机械特性和环境稳定性，已广泛的应用于可见近红外波段，制备高性能光学薄膜。但是关于氧化物在中红外波段的研究及应用很少有相关报导，开展这方面的工作，对拓宽氧化物薄膜的应用范围，解决传统红外薄膜材料环境稳定性、附着力差等问题，具有重要意义。 本文针对离子束溅射制备的氧化物薄膜在中红外波段的特性，包括光学特性、微结构、环境稳定性等进行了较为系统的研究，并设计制备了中红外多层高反膜。具体研究内容包括以下几个方面： 1.用离子束溅射方法制备了几种常用的单层氧化物薄膜，测试研究了薄膜的中红外光谱、光学常数、表面形貌、应力以及环境稳定性等特性。 2.比较了色散模型拟合法和K-K变换方法这两种光学常数获取方法各自的特点和不足之处，将两种方法相结合，用拟合透射率代替光谱仪不能测试的波段范围，并通过改变K-K变换中被积函数的形式，有效提高了K-K方法的计算精度。 3.设计并制备了中红外2.7μm及3.8μm反射膜，测试并分析了薄膜的光谱特性、断面结构特性以及退火特性。 4.针对制备的高反膜膜厚不匹配问题，提出离子束溅射沉积速率随时间缓慢下降的假设，并分别通过SEM断面图像分析方法和透反射率拟合方法，来探索制备的高反膜中膜层厚镀随层数变化的规律，两种方法所得结果较为一致，理论计算的光谱和实测光谱的吻合程度也大大提高。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2015-12-24 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3030]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李定. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015. |
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