离轴非球面反射镜的装调方法

	离轴非球面反射镜的装调方法
	吴萌源; 韩娟
刊名	光学学报
	2014
卷号	34 期号:0
ISSN号	0253-2242
产权排序	1
合作状况	国内
中文摘要	为了在光学装调中保证单件离轴非球面的精确定位，需要对其6个自由度进行严格控制，尤其要对影响离轴非球面装调最重要的离轴量和离轴角这两个自由度加以严格控制。现有离轴非球面加工和检测中，对这两个特殊参数难以给出精确数值，从而难以实现离轴非球面的精密光学装调。通过运用离轴反射镜的曲率半径中心像与工装基准光轴之间的变化规律，采用精密测量法实现对离轴量和离轴角的精确测量。装调实验证明，利用这一测量法，光学装调出的离轴非球面可达到离轴量 0.05 mm和离轴角10″级的精度，检测出的镜面波像差均方根(RMS)为0.02λ（λ=632.8 nm），使该离轴非球面获得了理想的像质，实现了精确装调。
收录类别	EI
语种	英语
公开日期	2015-03-18
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/22336]
专题	西安光学精密机械研究所_系统工程部
推荐引用方式 GB/T 7714	吴萌源,韩娟. 离轴非球面反射镜的装调方法[J]. 光学学报,2014,34(0).
APA	吴萌源,&韩娟.(2014).离轴非球面反射镜的装调方法.光学学报,34(0).
MLA	吴萌源,et al."离轴非球面反射镜的装调方法".光学学报 34.0(2014).