二维工作台正交性检测

	二维工作台正交性检测
	陈琦
刊名	长春工业大学学报(自然科学版)
	2014-12-15
期号	6 页码:720-722
关键词	正交性电容测微仪多齿分度盘平晶
中文摘要	应用非接触式电容测微仪以及平晶与多齿分度盘组合,检测二维工作台的正交性。调试为下层台200mm、上层台300mm行程时的正交性小于±0.5″,满足要求。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43632]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈琦. 二维工作台正交性检测[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):720-722.
APA	陈琦.(2014).二维工作台正交性检测.长春工业大学学报(自然科学版)(6),720-722.
MLA	陈琦."二维工作台正交性检测".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):720-722.