一种全息光栅曝光系统结构

	一种全息光栅曝光系统结构
	撖芃芃
刊名	长春工业大学学报(自然科学版)
	2014-12-15
期号	6 页码:639-644
关键词	全息光栅波前质量模态分析稳定性
中文摘要	采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43630]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	撖芃芃. 一种全息光栅曝光系统结构[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):639-644.
APA	撖芃芃.(2014).一种全息光栅曝光系统结构.长春工业大学学报(自然科学版)(6),639-644.
MLA	撖芃芃."一种全息光栅曝光系统结构".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):639-644.