运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究

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	运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究
	李佩玥; 王学亮
刊名	电子测量技术
	2014-10-15
期号	10 页码:33-36
关键词	光刻物镜压电陶瓷驱动电路误差分析亚微米
中文摘要	为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路。针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响。首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响。计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130mV,满足系统误差分配的要求。试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100mV,与理论分析的结果符合。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43540]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李佩玥,王学亮. 运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究[J]. 电子测量技术,2014(10):33-36.
APA	李佩玥,&王学亮.(2014).运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究.电子测量技术(10),33-36.
MLA	李佩玥,et al."运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究".电子测量技术 .10(2014):33-36.