基于子孔径拼接法测量高精度反射镜

	基于子孔径拼接法测量高精度反射镜
	郑立功
刊名	应用光学
	2014-01-14
期号	1 页码:85-89
关键词	光学检测干涉测量子孔径拼接最小二乘拟合
中文摘要	为了解决高精度光学反射镜的子孔径拼接检测问题,基于最小二乘拟合,依据拼接算法建立数学模型,编制了拼接程序,同时对口径为Φ120mm的平面反射镜进行了拼接检测。检测中,基于标记点确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准。分别基于全口径检测结果与自检验子孔径测试结果对拼接结果进行精度分析。实验结果表明:拼接结果无拼痕,拼接结果与全口径测试结果、自检验子孔径测试结果一致;拼接结果与全口径面形测试的PV值与RMS值的偏差分别为0.020λ与0.002λ,验证了检测的可靠性和准确性。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43216]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郑立功. 基于子孔径拼接法测量高精度反射镜[J]. 应用光学,2014(1):85-89.
APA	郑立功.(2014).基于子孔径拼接法测量高精度反射镜.应用光学(1),85-89.
MLA	郑立功."基于子孔径拼接法测量高精度反射镜".应用光学 .1(2014):85-89.