基于ZnS金属网栅制作工艺的改进

	基于ZnS金属网栅制作工艺的改进
	陈赟 ; 李艳茹 ; 张红胜
刊名	中国光学
	2014-02-14
期号	1 页码:131-136
关键词	金属网栅多晶ZnS 光刻复制工艺光刻胶
中文摘要	为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42627]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈赟,李艳茹,张红胜. 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进[J]. 中国光学,2014(1):131-136.
APA	陈赟,李艳茹,&张红胜.(2014).基于ZnS金属网栅制作工艺的改进.中国光学(1),131-136.
MLA	陈赟,et al."基于ZnS金属网栅制作工艺的改进".中国光学 .1(2014):131-136.