| 激光扫描显微镜 | |
| 郝志航 ; 胡家升 ; 匡浴光 ; 安端霞 ; 袁雅珍 | |
| 1992-12 | |
| 获奖类别 | 中科院科技进步奖 |
| 获奖等级 | 三等奖 |
| 关键词 | 激光显微镜 扫描显微镜 |
| 中文摘要 | 该激光扫描显微镜是综合激技术，共焦光学技术，该课题为国家七五攻关项目66-1-22-07分专题，是为了检验大规模集成电路。由于在设计中采用激光为光源，把先进的共焦光学技术、精密扫描技术、ＣＣＤ成像技术与计算机图像处理技术有机地结合起来，使该显微镜具备了许多传统显微镜所不可能实现的功能。该激光扫描显微镜的研制成功填补了国内空白。其主要技术指标达到了当前国际先进水平。１９９１年通过中科院鉴定。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41660]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝志航,胡家升,匡浴光,等. 激光扫描显微镜. 中科院科技进步奖:三等奖. 1992. |
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